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光刻机、光刻胶概念股开盘大涨,张江高科一字涨停
36氪获悉,截至发稿,光刻机、光刻胶概念股开盘大涨,同飞股份、海立股份、张江高科竞价一字涨停,蓝英装备高开超10%,东方嘉盛、国林科技、京华激光等均大幅高开。消息面上,工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中在电子专用装备目录下,集成电路生产装备包括氟化氩GKJ,光源193纳米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。