ASML 交付首批超级高数值孔径 (High-NA) EUV 2.0 版

全球光刻机霸主 ASML 本周完成了三台改良版 High-NA 设备向英特尔和台积电的交付。这款单价超过 5 亿美元的设备支持 1nm 以下逻辑芯片的单次曝光，是半导体行业维持摩尔定律的“最后法宝”。英特尔表示，将利用该设备在 2026 年底开启 Intel 14A 工艺的早期试产。

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